事業内容business

九州大学大学院システム情報科学研究院

タマリ工業共同研究部門

• 九州大学協力教員（2名）
• 九州大学大学院　システム情報科学研究院　池上  浩 教授
• 九州大学大学院　システム情報科学研究院　中村 大輔 准教授
• 九州大学出向　   タマリ工業研究員（1名）

レーザプロセシングの研究開発をベースとしセンシングモジュール、AI開発等、レーザ加工への応用を目指いしています。

・2017年　8月　九州大学共同研究開始

　　　　　　　 開発テーマ：4H-SiCレーザドーピング

・2019年　8月　九州大学SIPプロジェクト　CPSシステム開発協力開始

　　　　　　　 開発テーマ：リアルタイム観察システム

・2020年　1月　九州大学　綺羅コンソーシアム　参加

・2021年　4月　九州大学大学院システム情報科学研究院　タマリ工業共同研究部門　設立

・2021年 10月　JST　A-step　研究成果最適展開支援プログラム　産学共同（本格型）　採択

　　　　　　　 開発テーマ：「電動車両用駆動モータのステータの量産を可能とする平角銅線の

　　　　　　　 AI制御高速、高品質レーザ溶接加工装置の開発」

リアルタイム観察システム(センシングモジュール)

ゲート時間分解能2 nsの高速カメラを用いて、nsパルスレーザ照射時の材料温度状態を観察するシステムです。

用途例：パルスレーザアニールの表面温度解析

・装置構成

　加工用レーザと同軸に高速カメラを設置し、加工点の材料からの発光を観察することが可能となっています。

　　　　　　　　　　　　　　九州大学システム設置の様子

・実験

　Siウエハにエキシマレーザ照射時の表面温度を2次元マッピングを行います。

　温度算出は、輻射発光の2波長の比で求める事が出来ます。今回の実験では750nmと850nmを観察しています。

・ナノ秒時間変化温度換算

　レーザ照射中心部の平均温度の結果と温度２次元マッピングを示しています。

・リアルタイム観察システム(AI解析)

タマリ工業製のLIM『Laser Inspection Meister』を使用し、レーザ加工・溶接中のサンプル発光輝度から温度換算2Dマッピングを動画を取得し品質評価AI解析を行うシステムです。

用途例：レーザ溶接溶け込み深さ判定、レーザ加工点モニタリングよる加工状態の評価

・システム図

　レーザ加工と同軸に設置したLIMにより加工点の温度動画を取得し、リアルタイムでAI解析を行い動画の分類を行う事が出来ます。

・レーザ溶接LIM動画AI解析

　レーザパワーを変えてレーザ溶接したデータを収集し、LIMの動画とレーザパワーをラベリングしてAIに学習をさせています。

　LIMの動画を入れることで、AIが加工がどの出力で行われてたか分類判別します。動画内での出力の安定性は％で確認できます。

これらのシステム製作も承っております。また九州大学での試験もお試しいただけますのでご相談ください。